第478章 仿制？我们是自主研发！（5 / 13）
那么根本不需要考虑。
干就完事了。
见到黄新华同意，李暮笑了笑，转而又道：
“对了，我最近想到一种技术，或许会对突破光刻技术分辨率的无理限制有所帮助。”
“哦，是什么技术？”黄新华立刻心痒痒起来。
李暮道：
“通过多次光刻和刻蚀步骤，将单一光刻层的图案分解为多个子图案，最终组合成高密度、高分辨率图案，您觉得怎么样？”
听到他的讲述。
黄新华陷入漫长的沉思。
很快，想通其中关键的他，立刻眼睛一亮，道：
“太行了，利用多次图案化，就能实现比单次光刻更小的特征尺寸。”
“不过多次光刻和刻蚀的工艺十分复杂。”
“而且繁复的步骤，也容易产生缺陷问题。”
方法是个好方法。
不过问题也不是没有。
李暮道：
“这个好说，首先我们可以提高套刻精度，优化显影与刻蚀的工艺……”
……
书房内。
李暮和黄新华越聊越起劲。
说好的半个小时。
两人聊了2个小时，都还没有停下的意思。
见状。
关建民终于按捺不住，准备上前提醒。
不过王娅的动作更快。
她端着两碗煮好的面条，站到书房门口。
也不说话，就这么看着里面的两人。
似是有所感应。
李暮猛地一扭头，看到王娅。
他连忙站起身，道： ↑返回顶部↑
干就完事了。
见到黄新华同意，李暮笑了笑，转而又道：
“对了，我最近想到一种技术，或许会对突破光刻技术分辨率的无理限制有所帮助。”
“哦，是什么技术？”黄新华立刻心痒痒起来。
李暮道：
“通过多次光刻和刻蚀步骤，将单一光刻层的图案分解为多个子图案，最终组合成高密度、高分辨率图案，您觉得怎么样？”
听到他的讲述。
黄新华陷入漫长的沉思。
很快，想通其中关键的他，立刻眼睛一亮，道：
“太行了，利用多次图案化，就能实现比单次光刻更小的特征尺寸。”
“不过多次光刻和刻蚀的工艺十分复杂。”
“而且繁复的步骤，也容易产生缺陷问题。”
方法是个好方法。
不过问题也不是没有。
李暮道：
“这个好说，首先我们可以提高套刻精度，优化显影与刻蚀的工艺……”
……
书房内。
李暮和黄新华越聊越起劲。
说好的半个小时。
两人聊了2个小时，都还没有停下的意思。
见状。
关建民终于按捺不住，准备上前提醒。
不过王娅的动作更快。
她端着两碗煮好的面条，站到书房门口。
也不说话，就这么看着里面的两人。
似是有所感应。
李暮猛地一扭头，看到王娅。
他连忙站起身，道： ↑返回顶部↑