第661章 光刻机里的DPP方案（3 / 3）
虽然当前dpp方案还无法商用，暂且无法用在euv光刻机身上，但dpp方案技术是会进步的。
dpp方案本身优势也不小，比如光源稳定、对清洁度要求低，以及成本更低。
并且，陈平江也不会将鸡蛋放在一个篮子里。
除了哈工大这头，xx光电所和沪上某家研究所都有资助，大家进度不一，路线也不同。
任何一方取得最终突破，都会大大提前国产euv光刻机问世的时间。(本章完) ↑返回顶部↑
dpp方案本身优势也不小，比如光源稳定、对清洁度要求低，以及成本更低。
并且，陈平江也不会将鸡蛋放在一个篮子里。
除了哈工大这头，xx光电所和沪上某家研究所都有资助，大家进度不一，路线也不同。
任何一方取得最终突破，都会大大提前国产euv光刻机问世的时间。(本章完) ↑返回顶部↑