第568章 故障排除靠重启（5400）（3 / 6）
她知道大周国内很多人会对迈国幸灾乐祸，但恨得这么咬牙切齿跟恨小倭子似的，可太少见了。
这人是干什么的？说的什么我都没听懂……
方豫闻言，让张博士指了一下这两台duv损坏的位置，看似好奇的摸了摸。
张博士想说这两台设备太精密，不能随意触碰，但刚张开嘴，才想到这特么是老板。
东西都是人家买的，想摸就摸吧。
好在方豫没摸多久，就松开了手。
“我觉着这东西不是坏的啊，看起来挺正常的，再检测试试。”
就算张博士穿着无尘服，透过面罩都能看到脑门上青筋直冒。
你觉着？
这玩意儿坏了就是坏了，没坏就是没坏，你觉着有个屁用？
我还觉着柳菲菲应该对我一往情深呢，我觉着有用吗？
看不到故障灯在那亮着吗？
要不是看在你救了我的份上，我、我特么跳起来打你膝盖！
“方总，duv重启一次，至少要十几个小时，费几十万的费用，我们可以确信……”
张博士绞尽脑汁干巴巴的劝说道。
张博士说的也不完全是托词，阿斯麦的duv每次冷启动都要完全置换气体，含有氖、氩、氟的准分子激光光源气体混合物很贵，至少要大几千迈元。
而且，duv的激光腔寿命以脉冲数计数，每开关机一次，都会造成寿命的降低。
最重要的是，光刻机这东西也有点玄学，有可能关机前只是双工件台和光源系统有问题，重新开机后，不知道哪里又会蹦出新的问题。
“无非就是一点稀有气体的损失，问题不大。而且不需要冷启动，只需要在 hmi做模块复位，跑受影响子系统的qualification，二三十分钟就能结束，不会有什么大损失。”
方豫伸手敲了敲面前这台duv的黄色外壳。
听了方豫的话，张博士不由得目瞪口呆。
你懂光刻机？
既然懂，怎么还说什么“我觉得”？
“这……这……可是……”
张博士一脑子浆糊，吭哧半天，也不知道该说什么好。
“重新自检，看看故障能不能排除，不能排除，我们再想办法。”方豫抱着双臂，语气轻松，却充满着不可置疑的味道。
“……那好吧。”张博士被迫妥协，叫来两个技术员打下手。
三人先在hmi终端上登录工程师权限，屏幕上弹出一连串灰底白字的系统菜单。
张博士伸手点进维护界面的子系统控制组群，找到了亮着红灯的工件台控制与光源模块。
“先做工件台自检吧。” ↑返回顶部↑
这人是干什么的？说的什么我都没听懂……
方豫闻言，让张博士指了一下这两台duv损坏的位置，看似好奇的摸了摸。
张博士想说这两台设备太精密，不能随意触碰，但刚张开嘴，才想到这特么是老板。
东西都是人家买的，想摸就摸吧。
好在方豫没摸多久，就松开了手。
“我觉着这东西不是坏的啊，看起来挺正常的，再检测试试。”
就算张博士穿着无尘服，透过面罩都能看到脑门上青筋直冒。
你觉着？
这玩意儿坏了就是坏了，没坏就是没坏，你觉着有个屁用？
我还觉着柳菲菲应该对我一往情深呢，我觉着有用吗？
看不到故障灯在那亮着吗？
要不是看在你救了我的份上，我、我特么跳起来打你膝盖！
“方总，duv重启一次，至少要十几个小时，费几十万的费用，我们可以确信……”
张博士绞尽脑汁干巴巴的劝说道。
张博士说的也不完全是托词，阿斯麦的duv每次冷启动都要完全置换气体，含有氖、氩、氟的准分子激光光源气体混合物很贵，至少要大几千迈元。
而且，duv的激光腔寿命以脉冲数计数，每开关机一次，都会造成寿命的降低。
最重要的是，光刻机这东西也有点玄学，有可能关机前只是双工件台和光源系统有问题，重新开机后，不知道哪里又会蹦出新的问题。
“无非就是一点稀有气体的损失，问题不大。而且不需要冷启动，只需要在 hmi做模块复位，跑受影响子系统的qualification，二三十分钟就能结束，不会有什么大损失。”
方豫伸手敲了敲面前这台duv的黄色外壳。
听了方豫的话，张博士不由得目瞪口呆。
你懂光刻机？
既然懂，怎么还说什么“我觉得”？
“这……这……可是……”
张博士一脑子浆糊，吭哧半天，也不知道该说什么好。
“重新自检，看看故障能不能排除，不能排除，我们再想办法。”方豫抱着双臂，语气轻松，却充满着不可置疑的味道。
“……那好吧。”张博士被迫妥协，叫来两个技术员打下手。
三人先在hmi终端上登录工程师权限，屏幕上弹出一连串灰底白字的系统菜单。
张博士伸手点进维护界面的子系统控制组群，找到了亮着红灯的工件台控制与光源模块。
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