第568章 故障排除靠重启（5400）（4 / 6）
一通操作后，张博士点了一下对话框中的确认键，紧接着，就听到设备内部传来“咔、咔”几声电磁锁切换的清脆声响。
双工件台下方的真空泵开始抽气，伴随着低沉的气流声，整个平台缓缓降到维护位置。
宁雨震撼的看着这台大型设备的动作，充满了顶级机械工程的美感，感觉跟变形金刚似的。
几秒后，工件台的干涉仪和温控系统开始依次重新初始化，hmi上的进度条缓缓前进。
高精度激光干涉仪的红点在台面上来回扫描，反馈曲线在屏幕右侧实时抖动着趋于平稳。
整个过程也就持续了三四分钟，屏幕一闪，原本显示故障的位置瞬间变成了“stage ok”的字样，警告状态瞬间消失。
消失了？
张博士身体一震，不可思议的揉了揉眼睛。
两名研究员也是一脸的惊诧，这台机器他们捣鼓了好久，双工件台仍旧只有一个能用，怎么现在居然莫名其妙的恢复了？
故障排除靠重启？
这不可能！
拿到这台机器后，子模块复位做了这么多次，没有一次能自检通过的。
怎么恢复的？
你特么玩我呢吧？
张博士深吸一口气：“再看一下光源系统。”
两名研究员忙不迭的光源控制，开始执行光源系统的复位程序。
远处的激光发生器先是发出一声低沉的嗡鸣，随后切换到高频的脉冲声，像有人在密集地敲打金属。
紧接着，激光腔内发出气体注入的嗤嗤声，混合的特种气体通过气路调节阀依次导入，屏幕上的传感器读书开始快速的跳动起来。
光束被导向光功率传感器与稳定度监测器，hmi上的曲线从最初的波动逐渐收敛成一条平滑的直线。
十分钟后，屏幕正中央弹出一行绿色的大字：
laser source: pass。
pass！？
张博士还以为自己看错了，不可思议的抬起手揉眼睛，却发现自己戴着全封闭的面罩，根本揉不到。
这是怎么回事！？
等等，刚才自己说了那么半天故障问题，还说什么需要换件之类的，不会让老板觉得自己是想坑他钱吧？
张博士额角的冷汗一下子就冒出来了。
“不错，不错。”方豫鼓了鼓掌，语带笑意，“刚刚可能是光源轻微老化和地面沉降导致工作台配平的问题，能一次通过自检，就算新机器也不容易做到，张博士果然名不虚传。”
“不是……这和我没关系，我是说……”张博士在面罩里龇牙咧嘴的不知道该说什么好。
“唉！要是什么时候国产光刻机能问世就好了，省得在尼德兰和迈国人面前受这个窝囊气。”
千言万语，最终汇成了一声叹息。 ↑返回顶部↑
双工件台下方的真空泵开始抽气，伴随着低沉的气流声，整个平台缓缓降到维护位置。
宁雨震撼的看着这台大型设备的动作，充满了顶级机械工程的美感，感觉跟变形金刚似的。
几秒后，工件台的干涉仪和温控系统开始依次重新初始化，hmi上的进度条缓缓前进。
高精度激光干涉仪的红点在台面上来回扫描，反馈曲线在屏幕右侧实时抖动着趋于平稳。
整个过程也就持续了三四分钟，屏幕一闪，原本显示故障的位置瞬间变成了“stage ok”的字样，警告状态瞬间消失。
消失了？
张博士身体一震，不可思议的揉了揉眼睛。
两名研究员也是一脸的惊诧，这台机器他们捣鼓了好久，双工件台仍旧只有一个能用，怎么现在居然莫名其妙的恢复了？
故障排除靠重启？
这不可能！
拿到这台机器后，子模块复位做了这么多次，没有一次能自检通过的。
怎么恢复的？
你特么玩我呢吧？
张博士深吸一口气：“再看一下光源系统。”
两名研究员忙不迭的光源控制，开始执行光源系统的复位程序。
远处的激光发生器先是发出一声低沉的嗡鸣，随后切换到高频的脉冲声，像有人在密集地敲打金属。
紧接着，激光腔内发出气体注入的嗤嗤声，混合的特种气体通过气路调节阀依次导入，屏幕上的传感器读书开始快速的跳动起来。
光束被导向光功率传感器与稳定度监测器，hmi上的曲线从最初的波动逐渐收敛成一条平滑的直线。
十分钟后，屏幕正中央弹出一行绿色的大字：
laser source: pass。
pass！？
张博士还以为自己看错了，不可思议的抬起手揉眼睛，却发现自己戴着全封闭的面罩，根本揉不到。
这是怎么回事！？
等等，刚才自己说了那么半天故障问题，还说什么需要换件之类的，不会让老板觉得自己是想坑他钱吧？
张博士额角的冷汗一下子就冒出来了。
“不错，不错。”方豫鼓了鼓掌，语带笑意，“刚刚可能是光源轻微老化和地面沉降导致工作台配平的问题，能一次通过自检，就算新机器也不容易做到，张博士果然名不虚传。”
“不是……这和我没关系，我是说……”张博士在面罩里龇牙咧嘴的不知道该说什么好。
“唉！要是什么时候国产光刻机能问世就好了，省得在尼德兰和迈国人面前受这个窝囊气。”
千言万语，最终汇成了一声叹息。 ↑返回顶部↑